Poluvodički CNC strojno obrađeni dijelovi
Izrađujemo po mjeripoluvodički CNC strojno obrađeni dijeloviiz crteža kupaca i CAD datoteka, uključujućikomponente vakuumske komore, ploče za distribuciju plina i spojnice, dijelovi za rukovanje i stezanje pločica, komponente pumpe i ventila, RF dijelovi, rashladne ploče, hladnjaki i komponente procesnog kompleta. Naše mogućnosti CNC tokarenja, glodanja, 5-osne obrade, švicarski CNC i tokar-mlinova podržavaju komponente niske tolerancije za jetkanje, taloženje, litografiju, ionsku implantaciju, CMP i mjeriteljsku opremu.
Dijelovi poluvodičke opreme žive u drugačijem svijetu od običnih industrijskih dijelova: oni moraju preživjetivakuum, korozivni procesni plinovi, plazma, ciklusi temperature i zahtjevi za-kontrolu čestica. Odabir materijala stoga je prva odluka u svakom projektu strojne obrade poluvodiča. Obrađujemo točne ocjene -316L VIM-VAR i 316L nehrđajući čelik, 6061-T6 i 7075-T6 aluminij, titan Grade 5, TZM molibden, OFHC bakar C10100, legure nikla i PEEK/PTFE inženjerska plastika- i primijenite završne slojeve-kompatibilne s čistim sobama tamo gdje ih aplikacija zahtijeva. Dijelovi se proizvode prema specificiranim dimenzijama, tolerancijama, zahtjevima za materijale i završnu obradu, s certifikatima o materijalima koji su dostupni na zahtjev.
Od pojedinačnih prototipova za razvoj novog alata do ponovljenih proizvodnih ciklusa za rezervne procesne komplete, obrađujemo poluvodičke komponente do crteža - bez obzira na količinu.
CNC strojno obrađeni dijelovi za primjenu poluvodiča
Oprema za jetkanje i taloženje
Tijela komore · obloge komore · ploče za distribuciju plina · sklopovi elektroda · fokusni prsteni · stezni prstenovi · dijelovi za montiranje glave tuša
Materijali:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Grade 5 titan
Vakuumski sustavi i isporuka plina
Vakuumske prirubnice (CF/KF/ISO) · Komponente zasuna · Priključci plinovoda · VCR-tip prednjih brtvi · Razdjelni blokovi · Dijelovi za montiranje pumpe
Materijali:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Rukovanje vaflima i transport
Ruke robota · krajnji efektori · pločaste stezaljke · rubne hvataljke · komponente kazete · dijelovi dizala i vilice · kinematički nosači
Materijali:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 berilij bakar · Titan razreda 5
Ionska implantacija i dijelovi snopa zraka
Komponente linije zraka · elektrode · otvori · dijelovi za potiskivanje i ekstrakciju · štitovi za visoke-temperature
Materijali:TZM molibden · Volfram W · Ta-2,5W tantal
RF i plazma komponente napajanja
RF konektori · prolazna kućišta · držači elektroda · zaštitni dijelovi · kontaktne opruge
Materijali:C10100 OFHC bakar · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Upravljanje toplinom & CMP
Ploče za hlađenje · Komponente hladnjaka · Hladnjaci · Dijelovi glave CMP · Prstenovi za pričvršćivanje · Komponente ploče
Materijali:C10100 OFHC bakar · 6061-T6 · 316L
Mjeriteljska i inspekcijska oprema
Optički nosači · komponente pozornice · temeljne ploče · učvršćenja za poravnanje · kinematički dijelovi za montažu
Materijali:6061-T6 · 7075-T6 · Grade 5 titan
Oprema za mokru obradu i čišćenje
Komponente spremnika i kade · prskalice · držači mlaznica · dijelovi valjka i četke · armature-otporne na kemikalije
Materijali:316L · Hastelloy C-276 · Titan stupnja 2
Poluvodički CNC strojno obrađeni dijelovi koje proizvodimo
Komponente vakuumske komore
Tijela komora, poklopci, obloge i montažni prstenovi s kontroliranom ravnošću, brtvenim površinama i zahtjevima za malim ispuštanjem plinova.
Materijali:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Vakuumske prirubnice i priključci
CF (ConFlat), KF i ISO prirubnice, spojnice, adapteri i spojnice plinovoda za UHV uslugu.
Materijali:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Ploče i mlaznice za distribuciju plina
Precizno-izbušene distribucijske ploče, mlaznice za injektore i hardver za montažu glave tuša.
Materijali:6061-T6 · Grade 5 titan · 316L
Oblatne stezaljke, prstenovi i hvataljke
Prstenovi za fokusiranje, stezni prstenovi, rubne hvataljke i vodilice za pločice s čvrstom kontrolom ravnosti i dimenzija.
Materijali:6061-T6 · C17200 · Titan stupnja 5
Robotske ruke i krajnji efektori
Ruke za prijenos pločica, vilice i krajnji efektori s uravnoteženom težinom, krutošću i kontrolom čestica.
Materijali: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Komponente pumpe i ventila
Kućišta, rotori, lopatice, lopatice, sjedala i dijelovi stabla za suhe pumpe, zasune i hardver za-kontrolu protoka.
Materijali:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Komplet za proces i potrošni dijelovi
Zamjenjivi dijelovi kompleta dizajnirani za ponovljene narudžbe s dosljednim tolerancijama i čistoćom.
Materijali:6061-T6 · Grade 5 titan · 316L VIM-VAR
Rashladne ploče i hladnjaci
Ploče-hlađene vodom, hladnjaci i dijelovi hladnjaka s ravno{1}}kritičnim površinama.
Materijali:C10100 OFHC bakar · 6061-T6 · 316L
RF i kontaktne komponente
RF kućišta, dijelovi konektora, kontaktne opruge i EMI komponente za zaštitu.
Materijali: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Imate prilagođeni poluvodički dio? Pošaljite svoju CAD datoteku
CNC procesi obrade poluvodičkih dijelova
CNC tokarenje
Najbolje za:Priključci · niple · stabljike ventila · rotori pumpe · mlaznice
Idealno za cilindrične komponente s uskom koncentričnošću.
CNC glodanje
Najbolje za:Tijela komora · temeljne ploče · razdjelnici · nosači
Prikladno za ravne, prizmatične i više{0}}komponente.
5-osna CNC obrada
Najbolje za:Krajnji efektori · složena kućišta · RF komponente
Obrađuje složene geometrije i složene kutove u jednoj postavci.
CNC tokar-glodanje
Najbolje za:Priključci za plinovod · dijelovi spojke s glodanim karakteristikama
Kombinira tokarenje i glodanje za složene rotacijske dijelove.
Švicarska CNC obrada
Najbolje za:Mali priključci · komponente senzora · precizne igle
Dizajniran za male, tanke i precizne-komponente velikog volumena.
CNC brušenje i brušenje
Najbolje za:Brtvene površine · sjedišta ležaja · precizni provrti
Koristi se za kritične promjere, spojeve i zrcalne završne obrade (Ra 0,1–0,4 μm moguće postići).
Poluvodički CNC obradni materijali
Za poluvodičke komponente odabir materijala ovisi ovakuumska kompatibilnost, kemija procesa, otpornost na plazmu, temperatura, magnetizam, stvaranje čestica i upravljanje toplinom. Obrađujemo niz metalnih i inženjerskih plastičnih materijala za komore, plinske sustave, rukovanje pločicama, RF i toplinske dijelove.
| Materijal | Uobičajene ocjene | Tipične primjene poluvodiča | Ključne prednosti |
|---|---|---|---|
| Aluminij | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Tijela komora, bazne ploče, robotske ruke, hladnjaci, nosači | Lagan, eloksiran, dobre toplinske vodljivosti; 6061-T6 je radni konj za hardver za komore |
| Nehrđajući čelik | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Vakuumske prirubnice, plinske armature, dijelovi ventila, -okov visoke čvrstoće | Otpornost na koroziju i temperaturu; 316L VIM-VAR je standard za uslugu UHV niskog-ispuštanja plinova |
| Titanij | Stupanj 2 (CP) · Stupanj 5 (Ti-6Al-4V) | Dijelovi za distribuciju plina, procesni setovi, hardver za mokru obradu | Otpornost na plazmu i kemikalije, visoka čvrstoća-na-težinu, ne-magnetski |
| Bakar | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 berilij bakar | RF dijelovi, rashladne ploče, kontaktne opruge, električni hardver | Izvrsna električna i toplinska vodljivost; OFHC idealan za RF i upravljanje toplinom |
| Legure nikla | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Armatura-otporna na kemikalije, visoko{1}}temperaturni dijelovi, mjeriteljske strukture | Kemijska i temperaturna otpornost; Invar 36 nudi skoro-nulto toplinsko širenje |
Zašto 316L VIM-VAR?Za komponente ultra-visokog-vakuuma (UHV) vršimo strojnu obradu316L VIM-VAR- dvostruko-topljeni nehrđajući čelik s vrlo niskim sadržajem plina i inkluzijama. Manje ispušta plinove, zavariva predvidljivije i ostaje čist u vakuumskoj službi. Ako vaš crtež navodi VIM-VAR ili elektropolirani 316L, možemo isporučiti materijal s punim certifikatom.
Odabir materijala za okruženja usisavača i čistih soba
Kompatibilnost s vakuumom i ispuštanje plinova
Materijali unutar komore ne smiju ispuštati plin ili zadržavati čestice. 316L VIM-VAR, 6061-T6 uobičajeni su izbor; poroznost i završna obrada površine su kontrolirani kako bi se zadržalo nisko ispuštanje plinova.
Otpornost na kemikalije i plazmu
Halogeni i fluorirani procesni plinovi napadaju mnoge metale. TZM molibden, Ta-2,5W, Hastelloy C-276, titan stupnja 5 odabrani su za korozivnu kemiju i izloženost plazmi.
Kontrola čestica i kontaminacije
Istrošenost, rubovi i zarobljeni ostaci stvaraju čestice koje ubijaju prinos. Skidamo srh sa svakog ruba, kontroliramo hrapavost površine i čistimo dijelove prema standardima čiste sobe prije pakiranja.
Upravljanje toplinom
Toplina utječe na jednolikost procesa. C10100 OFHC bakar i 6061-T6 koriste se za rashladne ploče i hladnjake; TZM i volfram upravljaju visokotemperaturnim snopom i dijelovima komore.
Magnetska i električna svojstva
Neki procesi zahtijevaju ne-magnetske materijale kao što je 316L, titan 5. stupnja; RF i hardver za uzemljenje koristi OFHC bakar C10100 i berilij bakar C17200.
Preciznost i stabilnost
Dijelovi za mjeriteljstvo i litografiju trebaju dimenzionalnu stabilnost: aluminij 6061-T6 i 7075-T6, titan Grade 5 drži geometriju tijekom promjena temperature.
Tolerancije i specifikacije za CNC obradu poluvodiča
Poluvodičke komponente često zahtijevaju mikronsku{0}}točnost na brtvenim površinama, referentnim točkama za montažu, kontaktnim površinama-vafera i preciznim provrtima, tako da se alati pravilno sastavljaju, a procesi ostaju ponovljivi.
| Specifikacija | Tipična sposobnost | Tipične primjene poluvodiča |
|---|---|---|
| Linearne dimenzije | ±0,01 mm (preciznost do ±0,005 mm) | Dijelovi komora, temeljne ploče, razdjelnici |
| Promjer provrta i osovine | ±0,005–0,01 mm | Rotori pumpi, ventili, precizni priključci |
| Ravnost | Do 0,01 mm/100 mm | Brtvene površine, rashladne ploče, kinematički nosači |
| Koncentričnost / odstupanje | Do 0,01 mm | Dijelovi rotirajućih pumpi, spojke |
| Prava pozicija | ±0,01 mm | Uzorci rupa-za vijaka, rupe za distribuciju plina |
| Hrapavost površine | Ra 0,2–0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm na zahtjev | Brtvene površine, kontaktne-površine, unutrašnjost komore |
| Skidanje ivica | Kontrolirano po crtežu (dostupno mikro-skidanje ivica) | Svi-kritični dijelovi za čestice |
| Tolerancija niti | Prema ISO/ASME zahtjevima | Priključci, prirubnice, pribor za montažu |
Kritične značajke koje kontroliramo
Brtveni utori i O-prstenovi- kontrolirana dubina, širina i završna obrada površine za vakuumske i tekućinske brtve.
Vafer-kontaktne površine- kontrola ravnosti i hrapavosti kako bi se izbjeglo oštećenje pločice i stvaranje čestica.
Precizni provrti i dosjedi- precizni provrti za ležajeve, osovine i komponente za-prilagodbu.
Otvori za distribuciju plina- točna veličina otvora, položaj i skidanje ivica za ravnomjeran protok plina.
Datum i značajke montaže- konzistentne referentne točke za ponovljivu montažu i poravnanje.
Završne obrade poluvodičkih CNC dijelova
Završna obrada površine dio je strategije onečišćenja i korozije u poluvodičkoj opremi. Pravi završni sloj kontrolira čestice, ispuštanje plinova, kemijsku otpornost i električno ponašanje.
| Površinska obrada | Primjenjivi materijali | Tipični poluvodički dijelovi | Glavna korist |
|---|---|---|---|
| Elektropoliranje | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Vakuumske prirubnice, plinovodi, obloge komora | Uklanja površinski materijal i inkluzije; smanjuje ispuštanje plinova i zadržavanje čestica |
| Pasivacija | 316L · 304L · 17-4 PH | Priključci, pričvršćivači, dijelovi ventila | Uklanja slobodno željezo, poboljšava otpornost na koroziju |
| Anodizacija tipa II | 6061-T6 · 6063-T5 | Tijela komora, temeljne ploče, nosači | Izolacijski sloj-otporan na koroziju; opcije boja |
| Tvrda anodizacija (Tip III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Potrošne površine, vodilice, dijelovi robota | Tvrdi zaštitni sloj-otporan na habanje |
| Bezelektrično niklanje | 6061-T6 · 7075-T6 · Čelik | Oprema komore, dijelovi procesnog kompleta | Ravnomjerna zaštita od habanja i korozije |
| Pozlata | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF kontakti, dijelovi konektora | Niska kontaktna otpornost, zaštita od korozije |
| Limiranje | C10100 · C11000 | Električni vodiči, sabirnice | Lemljivost i zaštita od korozije |
| Peskarenje kuglica | 6061-T6 · 316L · Čelik | Kućišta, poklopci,-nekritične površine | Ujednačena mat obrada (kontrolirano otpuštanje čestica) |
| Čišćenje čistih soba | Svi materijali | Svi dijelovi prije pakiranja | Više{0}}stupanjsko ultrazvučno čišćenje, bez ulja, bez ostataka, pod kontrolom-čestica |
Kontrola kvalitete CNC obrade poluvodiča
Provjeravamo kritične dimenzije, pristajanja, ravnost, odstupanje i površinske zahtjeve tijekom cijele proizvodnje kako bismo osigurali da CNC strojno obrađeni poluvodički dijelovi ispunjavaju crtež. Za projekte koji zahtijevaju dokumentiranu kvalitetu, možemo dostaviti certifikate materijala, izvješća o dimenzijama i dokumentaciju o čistoći kao podršku vašoj dolaznoj inspekciji.
Provjera materijala
Provjera materijala
Dimenzionalna inspekcija
GD&T inspekcija
Inspekcija navoja
Provjera završne obrade površine
Završna inspekcija
Inspekcija pakiranja
| Stavka inspekcije | Oprema / Metoda | Tipični poluvodički dijelovi |
|---|---|---|
| Dimenzionalna inspekcija | CMM · Čeljust · Mikrometri | Ukupne dimenzije dijela |
| Promjer provrta i osovine | Mjerač provrta · Mjerač osovinice · CMM | Rotori pumpi, ventili, armature |
| Ravnost i paralelizam | Površinska ploča · CMM | Brtvene površine, rashladne ploče |
| Prava pozicija | CMM | Uzorci rupa, ploče za distribuciju plina |
| Hrapavost površine | Ispitivač hrapavosti | Lica za brtvljenje, kontaktne-površine pločica |
| Inspekcija navoja | Go/No-Go mjerači niti | Priključci i pričvršćivači |
| Provjera materijala | Spektrometar + Certifikat materijala | Dolazni sirovi materijal (EN 10204 3.1 dostupan; VIM-VAR certifikat na zahtjev) |
| Provjera čistoće | Vizualna provjera + provjera čestica na zahtjev | Dijelovi-isporučeni čistim sobama |
| Završna inspekcija | CMM + izvješće o inspekciji | Konačno prihvaćanje dimenzija |
Trebate dokumentiranu kontrolu kvalitete?Pošaljite nam svoje crteže i zahtjeve za pregled.
Prototip i mala{0}}CNC obrada za poluvodiče
Projekti poluvodiča često započinju prototipovima - novim dizajnom alata, razvojem kompleta procesa, dijelovima za nadogradnju ili zamjenskim komponentama koje je potrebno potvrditi prije proizvodnje. Podržavamoprototip i mala{0}}CNC obradaod početnih uzoraka do ponavljanja malih{0}}serijskih narudžbi.
Obrada prototipa
Za razvoj novih alata, provjeru valjanosti procesa i promjene dizajna.
Tipična količina:1–10 kom
Proizvodnja male-količine
Za pilot sustave, nadogradnje alata i početne proizvodne serije.
Tipična količina:10–1,000+ kom
Ponovite proizvodnju
Za rezervne procesne komplete i ponavljajuće narudžbe s utvrđenim dizajnom.
Tipična količina:Na temelju zahtjeva projekta
Prikladno za
Vakuumska komora i oprema za isporuku plina
Komponente za rukovanje pločicama i stezanje
Dijelovi za jetkanje, taloženje i ionsku implantaciju
RF, električni i toplinski upravljački dijelovi
Mjeriteljska i inspekcijska oprema
Rezervni dijelovi i procesni setovi za postojeće alate
Pakiranje i vrijeme isporuke za poluvodičke CNC dijelove
Pakiranje
Individualna zaštita:PE vrećice, pjena ili zaštitna folija za strojno obrađene površine
Pakiranje čiste sobe:Očišćeni dijelovi duplo-zapakirani u čiste vreće (dostupna opcija pročišćavanja dušikom)
Mali dijelovi:Odvojene kutije za sprječavanje grebanja i kontakta-na-dijelove
Precizni dijelovi:Pjenasti umetci i odvojeni pretinci za kritične komponente
Prilagođeno pakiranje:Brojevi dijelova, oznake, količine i-specifični zahtjevi pakiranja za kupca
Tipično vrijeme isporuke
| Vrsta narudžbe | Tipično vrijeme isporuke |
|---|---|
| Prototip | 5–10 radnih dana |
| Narudžba malog-količina | 10–20 radnih dana |
| Proizvodni nalog | 15–30 radnih dana |
| Ponovite narudžbu | 10–25 radnih dana |
FAQ
P: Koje poluvodičke CNC strojno obrađene dijelove možete proizvesti?
O: Proizvodimo prilagođene komponente vakuumske komore, prirubnice i priključke plinovoda, ploče za distribuciju plina, stezaljke i prstenove, dijelove robotske ruke, komponente pumpe i ventila, dijelove snopa ionskih implantatora, RF komponente, rashladne ploče, hladnjake i dijelove procesnog kompleta za poluvodičku opremu.
P: Koje tolerancije CNC obrade možete postići?
O: Naša standardna CNC tolerancija je obično ±0,05 mm, s preciznom obradom do ±0,02 mm i odabranim kritičnim značajkama do ±0,005–0,01 mm, ovisno o geometriji, materijalu i zahtjevima crteža.
P: Možete li isporučiti 316L VIM-VAR za vakuumske komponente?
O: Da. Za uslugu ultra-visokog-vakuma možemo strojno obraditi 316L VIM-VAR (vakuumsko indukcijsko taljeno i vakuumsko lučno pretaljeno) s niskim sadržajem plina, isporučuje se s certifikatom materijala. Dostupno je elektropoliranje za smanjeno ispuštanje plinova i hvatanje čestica.
P: Nudite li čišćenje-kompatibilno čišćenje i pakiranje?
O: Da. Dijelovi se mogu -ultrazvučno očistiti u više faza, osušiti i dvostruko-zapakirati u čiste vrećice (pročišćavanje dušikom po izboru) kako bi površine bile bez čestica-za isporuku u čistu sobu.
P: Možete li dostaviti potvrde o materijalu i izvješća o inspekciji?
O: Da. Ovisno o projektnim zahtjevima, možemo osigurati materijalne certifikate (EN 10204 3.1, uključujući VIM-VAR certifikat), izvješća o inspekciji dimenzija, CMM izvješća i zapise o završnoj obradi površine.
P: Možete li obraditi ne{0}}magnetske komponente?
O: Da. Obrađujemo ne-magnetske kvalitete uključujući nehrđajući 316L, titan 5. stupnja, aluminij 6061-T6 i PEEK za primjene u kojima se mora izbjegavati magnetizam.
P: Koje površinske završne obrade primjenjujete na poluvodičke dijelove?
O: Ovisno o materijalu i primjeni, nudimo elektropoliranje, pasiviranje, tvrdo eloksiranje tipa II i tipa III, neelektrično poniklavanje, pozlaćivanje i pokositrenje, pjeskarenje i čišćenje čistih prostorija.
P: Prihvaćate li 2D crteže i CAD datoteke?
O: Možemo raditi s uobičajenim datotekama STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF i 2D crtežima.
P: Podržavate li prototip i malu{0}}serijsku proizvodnju?
O: Da. Podržavamo količine prototipa od 1 do 10 komada, malu-serijsku proizvodnju od 10 do 1,000+ komada, kao i ponovljene proizvodne narudžbe za procesne komplete i rezervne dijelove.
P: Koje je tipično vrijeme isporuke za poluvodičke CNC dijelove?
O: Uobičajeno vrijeme isporuke je 5-10 radnih dana za prototipove, 10-20 radnih dana za male-narudžbe i 15-30 radnih dana za proizvodne narudžbe, ovisno o složenosti dijela, količini, materijalu i završnoj obradi.
Popularni tagovi: poluvodički CNC strojni dijelovi, Kina poluvodički CNC strojno obrađeni dijelovi, proizvođači, dobavljači, tvornica, titanij
Par
neMogli biste i voljeti
Pošaljite upit